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01-01 08:00
百科问答
cmp设备是什么意思(cmp啥意思)
CMP设备,全称Chemical Mechanical Polishing设备,是一种利用化学和机械作用相结合的方式,对半导体晶片表面进行精细加工的设备。它主要用于平坦化晶片表面,去除加工过程中的缺陷和杂质,并实现晶片厚度控制。CMP技术在半导体制造中至关重要,是提高晶片良率和性能的关键工艺之一。C
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