北航研发磁性芯片高精度检测设备将投入商用北航研发磁性芯片高精度检测设备将投入商用
北航研发磁性芯片高精度检测设备将投入商用
我国科学家在磁性芯片高精度检测领域取得新突破。北京航空航天大学集成电路学院科研人员在 5 个原子层厚的纳米磁性薄膜上写下“100 年”、“中国芯”几个字。据新华网报道，磁性芯片可作为高可靠的信息存储模块和高灵敏的磁信号传感模块，应用于飞机、卫星的控制系统，以及手机电子罗盘、汽车自动驾驶等领域。
磁性芯片生产过程中，需将纳米磁性薄膜均匀铺在晶圆（制作硅半导体集成电路所用的衬底）上。难点在于薄膜的平整度，“相当于在北京的海淀区地面上均匀铺满 5 层厚的小米粒，且须完全平整”。在磁性芯片生产过程中的磁性薄膜检测这一关键技术。
北航集成电路学院工艺与装备系教师张学莹表示，利用团队研发的晶圆级磁光克尔测试仪，通过微小的磁性针尖在薄膜上写字，若字的颜色对比度一致、字迹清晰，则表明薄膜有良好的均匀性。完成平整度检测后，将纳米薄膜制成器件，封装后形成芯片。
北航集成电路学院工艺与装备系主任王新河表示，对比国外同类设备，这台仪器在测试精度和速度等方面进行了技术革新，实现了自主创新突破。目前该仪器现已应用于科研领域，且预计于今年 10 月在产业领域投入商用。这台晶圆级磁光克尔测试仪，将为具有百亿元市场规模的磁性芯片产业提供设备支撑。（校对/nanana）
来自: cnBeta